透明体電極を用いた電解加工の除去過程の考察

抄録

電解加工は、工作物を電気化学的溶解作用によって除去していく加工方法である。しかし、その極間現象は電解液の流れ場や気泡の挙動など様々な要因のため非常に複雑である。加工現象解明のために、透明で導電性を有する半導体SiCウェハを用いて直接極間の様子を観察し、工作物の除去過程に関する考察を行った。