ポリアセタールの薄板化のための加工技術の開発

利根 直樹; 上原 嘉宏; 大森 整; 橋本 勝

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_897

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: O37

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_897

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主催: 公益社団法人精密工学会

ポリアセタールの薄板化のための加工技術の開発

*利根直樹, 上原嘉宏, 大森整, 橋本勝

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キーワード: ポリアセタール, 真空チャック, 単結晶ダイヤモンド, ELID研削

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抄録

本報では，放射線を用いた医療装置に搭載するプラスチックスシートの薄板化を目的として，多孔質セラミックスタイプの真空チャックテーブルを使用し，単結晶ダイヤモンドバイトにより薄板加工を行った．事前に真空チャックテーブルの表面の平坦化と空孔率の向上のためにELID研削を適用した．厚み100μm以下の薄板の吸着状態及び板厚のバラツキの検証について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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