単結晶サファイアのスパイラル超音波援用研削

加工の高能率化における超音波振動の効果

抄録

単結晶サファイアはLED基板や光学レンズなどの製作に広く利用されている．しかし硬脆材料であり，加工欠陥が発生しやすく工具磨耗が激しいため，高精度かつ高能率の加工が困難である．本研究では，スパイラル超音波援用研削によってそれを高能率で高精度に加工する技術の開発の一環として，ワーク送り速度を高くすると加工特性に及ぼす超音波の影響がどう変わるかを調べた．本報は得られた結果を報告するものである．