超硬合金の超音波援用プラズマ研削の試み

抄録

研削中砥石と工作物間にプラズマ放電させると加工面に酸化膜が生成される。この際に砥石を超音波振動させると酸化がさらに促進される。本研究では、この原理を利用して難削材の超硬合金の高能率加工を試みている。本報では、超音波スピンドルとプラズマパルス放電電源を備えた研削実験装置を構築して、実際の研削実験を行い、研削抵抗や表面粗さに及ぼす加工条件の影響など基礎加工特性を調べた。