干渉像からの位相抽出と波長シフト干渉計による形状計測（キーノートスピーチ）

抄録

これまで位相抽出には，一定量の位相シフトと干渉像撮影の繰り返しが使われてきた．ここでは不明な位相シフト量で取り込んだ画像群から位相を抽出する方法を最初に紹介する．その後，光路差が時間的空間的にμm前後で変動する環境下で，波長シフトに伴う位相変化量の抽出を行い，10mmの段差を含む粗面の３次元形状を計測する方法を述べる．