UV成形によるマイクロレンズアレイの精密成形

抄録

マイクロレンズアレイは従来、射出成形が主流であるが，加工に熱収縮を伴うため、寸法精度が確保しにくい．紫外線（UV）硬化樹脂成形では，紫外線照射で硬化するため，転写精度の向上が期待される．本研究では，Rバイトで無電解Ni製金型を超精密切削し、高精度が得られることを示した．さらに，この金型を用いたUV成形実験を行い，マイクロレンズアレイが精密成形でき、硬化時に空気圧を与えることで、精度が良好になった。