容積均一化モールドの設計の自動化に向けた補正パターン生成方法の基礎検証

抄録

ナノインプリントリソグラフィにおいて、成形領域全域での残膜を薄く均一に形成することは重要な課題である。本研究では、先行研究で提案した容積均一化モールド（パターンの単位面積あたりの容積を均一化する方式のモールド）の作製原理に基づいた簡便で柔軟な設計手法の構築を目的に、元モールドパターンから容積均一化用の加工パターンデータを自動生成するためのプログラムのアルゴリズムを提案し、その妥当性の基礎検証を行った。