CMPスラリーろ過用微細多孔質膜フィルターのろ過寿命延長

抄録

マイクロスクラッチ低減のためCMPスラリーのろ過に微細多孔質膜フィルターが適用されているが、早期閉塞による短ろ過寿命が課題である。本研究では、スラリー中の砥粒濃度、粗大粒子数とろ過寿命の関係が検討された。その結果、適切なプレろ過による粗大粒子数の低減がろ過寿命延長に著しい効果のあること、砥粒濃度が低いほど効果の大きいことが示された。