レーザインプリント複合加工による微細形状の転写

抄録

これまでモールドの表面のみをレーザにより加熱することで，加熱，冷却サイクルの短縮させるレーザインプリント複合加工法を提案した．本報では，転写加工の状態と加工温度の関係について明らかにし，加工温度を用いた加工状態のモニタリング可能性について調査した．