マイクロボールフォーミング法による微細テクスチャリング

抄録

自由曲面を有する材料表面に微細構造を高能率に創成する新たな微細加工法の確立を目的として，微細塑性加工の一つであるマイクロボールフォーミング（MBF）法を考案した．MBF法は，外周面に微細形状を有するボール工具を用いて材料表面に微細形状を転写する加工法である．本報告では，MBF装置を用いて平面及び傾斜面の表面に対してMBF法を行った．その結果，数µmオーダーの微細構造の創成が可能であることを明らかにした．