2光束干渉を利用した軟X線ラミナー型自由間隔回折格子の開発

露光システムの設計

抄録

近年，軟X線を利用した発光分光や光電子分光において分光器の高精度化の需要が高まっており，軟X線の分光に適した回折格子の開発が盛んに行われている．本研究では，ホログラフィック露光法においてレーザー光束の波面を制御することで干渉縞の間隔を自由に形成し，自由間隔を持ったラミナー型回折格子を開発する．本稿では空間位相変調器LCOS-SLMを用いた波面制御露光光学系の設計に関して報告する．