高精度非球面ミラー用プローブ走査式表面形状計測装置 非接触変位センサを用いた零位法装置の開発と基礎評価

湯本 博勝; 小山 貴久; 大橋 治彦

doi:10.11522/pscjspe.2016A.0_275

2016年度精密工学会秋季大会

セッションID: E66

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016A.0_275

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2016年度精密工学会秋季大会

開催地: 茨城大学

開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08

高精度非球面ミラー用プローブ走査式表面形状計測装置

非接触変位センサを用いた零位法装置の開発と基礎評価

*湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦

著者情報

キーワード: 表面形状計測, 非球面, X線ミラー, X線光学素子, シンクロトロン放射光

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

X線ナノ集光ミラー等の数m級の小さな曲率半径や,±5mrad以上の大きなスロープ分布を有する高精度非球面に対して1nmRMS以下の形状計測再現性を目標とする．このため非接触変位センサを用いた零位法に基づくプローブ走査式表面形状計測装置を開発した．本装置により100mm長の平面ミラーを0.1mm間隔で測定した結果，1ラインあたり15分の測定で，再現性4.3nmRMSを達成した．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）