乾式環境下でのダイヤモンドの高能率・高精度加工法の開発

窒素を利用した方法の提案

抄録

近年，ダイヤモンドは，次世代パワー半導体デバイス用基板や切削工具，超硬合金金型の代替型などの幅広い分野での応用が期待されている．しかしながら，ダイヤモンドは高硬度で，化学的に不活性なため，加工が非常に難しい．このような背景のもと，われわれは，乾式環境下でのダイヤモンドの高能率・高精度加工法の開発を進めている．本報告では，窒素を利用したダイヤモンド基板の高能率加工法を提案する．