濡れコイルの液架橋力を利用した微小物のピック＆プレース法の検討

抄録

本研究では濡れコイルの側面と部品間に作用する液架橋力を利用した微小物のピック＆プレース法の可能性を検討することを目的とする。実験では１００μｍ角のシリコン片のピック＆プレースを行い成功確率７０％との結果を得た。市販の両面テープ上への配置では１００％の確率で配置できた。今後の展開についても報告する。