サファイアの延性モード切削におけるダイヤモンド切れ刃有効部位（第3報）

微小切込み領域の切削抵抗と溝深さの相関

抄録

サファイアの延性モード除去と工具の刃先の関連を調査したところ，切り込み深さが比較的浅い部位で，溝深さ5nm未満の非常に浅い溝が加工可能であった。加工する溝の深さを制御するには，工具と材料の接触点を精密に検知する必要がある。しかし，ナノメートルオーダーで接触点を検知することは困難である。そこで，切削抵抗と溝深さの関連に着目し，加工時の溝深さの制御を可能にするパラメータとなりうるかを調査した。