ヘテロダイン型レーザ干渉計を搭載した高周波振動校正装置の開発

抄録

ISO 16063-11(振動加速度計の一次校正方法)で規定されるホモダイン型レーザ干渉計では、5 kHzあたりが測定可能な上限となる。そこで、20 kHzまでの加速度計の一次校正に対応するために、ヘテロダイン型レーザ干渉計を搭載した高周波振動校正装置を開発した。両者の結果を比較したところ、加速度計の感度は良い一致を示したが、位相遅れでは一定の時間ズレを示した。本発表では、装置開発の現状とその校正結果について報告する。