分光ミュラー行列のデコンポジションを用いたスキャットロメトリによるナノ構造計測

抄録

近年、ナノ周期構造の形状評価が重要になっている。そこで、分光ミュラー行列偏光計と境界要素法を用いた形状評価方法を提案する。ミュラー行列は試料の全ての偏光特性を表し、複屈折性、二色性、偏光解消性に分解が可能。波長依存性のある複屈折性に注目し、評価に用いる波長を決め、測定値とシミュレーションの値を比較する事で形状候補を算出する。その後、他の波長でも比較する事で、形状候補の中から最終的な形状を決定する。