超音波振動子と対向面を用いたポンプの開発（第4報） ギャップの計測

品田 裕壮; 石野 裕二; 山口 大介; 原 正之; 高崎 正也; 水野 毅

doi:10.11522/pscjspe.2016A.0_553

2016年度精密工学会秋季大会

セッションID: J68

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016A.0_553

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2016年度精密工学会秋季大会

開催地: 茨城大学

開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08

超音波振動子と対向面を用いたポンプの開発（第4報）

ギャップの計測

*品田裕壮, 石野裕二, 山口大介, 原正之, 高崎正也, 水野毅

著者情報

キーワード: 超音波ポンプ, 対向子, テーパ, スクイーズ膜, 超音波振動子

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

これまでに内部配管を備えた超音波振動子に，テーパ加工を施した面を対向させることでポンプ効果が発現することが確認されている．この超音波ポンプでは対向させる面を振動面に押し当てることで予圧を与えており，デジタルマイクロスコープを用いて二面間を観測することでこの予圧がギャップに影響することを確認した．本報ではこの予圧と二面間のギャップの関係の計測結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）