測長原子間力顕微鏡を用いた標準ナノ粒子サイズ測定（キーノートスピーチ）

抄録

標準ナノ粒子のサイズ測定において，従来の気相・液相中での測定手法に加え，基板上に固定された粒子を対象とした測定手法の需要が特に半導体産業で高まっている．今回，測長原子間力顕微鏡(測長AFM)を用いて，標準ナノ粒子（ポリスチレンラテックス(PSL)、金及び銀）のサイズ測定を行い，不確かさ評価を行ったので報告する．