高速原子間力顕微鏡による磁気力を用いたマニピュレーション手法の開発

抄録

高速原子間力顕微鏡はナノスケールでの表面観察を数秒以下の画像取得時間で行うことができる。しかしながら、コンタクトモードのカンチレバーは、ばね定数が低く、力学的なマニピュレーションが困難である。そこで本研究ではカンチレバーに対して強磁性体をコートし磁気力により探針を基板側へ引き込む荷重印加手法を開発した。本報告では本手法によりリアルタイムで観察しながら表面微細加工を行った結果について報告する。