空間光変調器を用いたレーザートラップ支援局所的電気泳動堆積法による微細立体造形法の高精度化

抄録

我々は、電気泳動堆積法とレーザートラップを組み合わせたレーザートラップ支援局所的電気泳動堆積法を開発している。これまでに本手法と空間光変調器を用いることにより複数のピラーの作製や複雑な立体構造物の作製が可能であることを報告している。しかしながら、複数スポットで構造物を作製する際に光の干渉によりサブスポットが発生し、加工精度が低下することが問題であった。本報告では単一スポットの瞬間的な切り替えにより光の干渉によるサブスポットの発生を抑えることで加工精度を向上させる手法を開発したので報告する。