予圧制御を用いた圧電素子ヒステリシス低減の基礎的研究

抄録

超精密位置制御の低コスト化を目的に，積層圧電素子を対象として，ヒステリシス量÷変位量（RHD）を新しい指標に各種条件に対する基礎実験を行なった．二方向からの予圧や圧電素子印加電圧パターンに対するRHD・分解能・ストロークの関係を実験的に精査して，圧電素子のヒステリシス低減を通したオープンループ制御に対する基礎データをまとめた．RHD・分解能とストロークの間にはトレードオフの関係があることがわかった．