ボールねじ駆動によるサブナノメートル位置決めの研究 停止状態の安定性と位置決め分解能に関する実験と考察

深田 茂生; 志村 武彦; 清水 英興

doi:10.11522/pscjspe.2016A.0_719

2016年度精密工学会秋季大会

セッションID: O06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016A.0_719

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2016年度精密工学会秋季大会

開催地: 茨城大学

開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08

ボールねじ駆動によるサブナノメートル位置決めの研究

停止状態の安定性と位置決め分解能に関する実験と考察

*深田茂生, 志村武彦, 清水英興

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キーワード: 精密位置決め, ボールねじ, サブナノメートル, 位置決め分解能

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抄録

分解能70pmのリニアエンコーダとボールねじおよびエアスライドを用いた位置決め機構のサブナノメートルレベルにおける挙動を実験により検討している．微動動作におけるねじ軸の回転挙動とステージの変位挙動との関係を明らかにし，さらに停止状態における定常振動をCAS（累積振幅スペクトル）で評価し，機構の周波数特性との関係を考察している．また安定性を向上させるためのオイルフィルムダンパの効果を検証している．

責任著者(Corresponding author)

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