精密工学会学術講演会講演論文集
2016年度精密工学会秋季大会
セッションID: O16
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ワーク・ツール間の6自由度相対運動計測と補正に基づく精密機械システム
パラレルメカニズムの連結連鎖の長さ計測精度評価
*大岩 孝彰清水 真寺林 賢司朝間 淳一
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抄録
ヘキサポッド形パラレルメカニズムを用いてワークとツール間の6自由度運動の計測と補正を行う精密機械システムの開発を目指す.本報では1本の連結連鎖の長さ測定精度を評価するため,1軸ステージを用いて連結連鎖を伸縮させ,内蔵のリニアスケールの計測値をレーザ干渉測長器の計測値と比較し,長さ計測の繰り返し精度を求めた.さらに,スケールユニットの姿勢誤差が長さ計測の系統的誤差に及ぼす影響について検討を行った.
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© 2016 公益社団法人 精密工学会
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