細胞機能解析のためのナノニードル搭載型バイオプローブの開発（第14報）

扁平マイクロ流路の作製プロセスの検討

抄録

本研究では，原子間力顕微鏡（AFM）のプローブ先端に中空構造を有するナノニードルを形成することで，生体分子（DNAなど）の注入や採取を可能とするバイオプローブの開発を行っている．本報では，カンチレバーのヤング率の低減を目的とし，Siの結晶異方性エッチングを利用した扁平マイクロ流路の作製プロセスを検討した．また，Si基板同士の接合プロセスの歩留りを改善するために，表面活性化接合についても検討した．