自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第2報） FDTDシミュレーションに基づいた光学的検出特性解析

橘 一輝; 浅井 祥平; 道畑 正岐; 高増 潔; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_1

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: A01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_1

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主催: 公益社団法人精密工学会

自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第2報）

FDTDシミュレーションに基づいた光学的検出特性解析

*橘一輝, 浅井祥平, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

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キーワード: 欠陥検査, 表面検査, 光計測, ナノ異物

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抄録

基板上微細加工技術の進歩に伴い，製造プロセス中で応用可能な特性を持った基板上ナノスケール異物の検出法が求められている．そこで我々は，高感度性，高速計測性，非破壊性，広い計測レンジといった特性を備えた，揮発性液体をプローブとして用いる全く新しい原理に基づいた光学的ナノ異物検出手法を提案している．本報では，異物周辺に収束する液相薄膜における光学応答をFDTD法により解析し，理論的な異物検出特性を検証した．

責任著者(Corresponding author)

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