共焦点スリットと波長/空間変換を用いたスキャンレス・フルフィールド共焦点レーザー顕微鏡の開発

抄録

共焦点レーザー顕微鏡（CLM）は、3次元形状測定手法として、産業分野で広く使われている。通常、光源側ピンホール・サンプル焦点・検出側ピンホールが共役な関係であるため、イメージを取得するには焦点位置を、機械的に走査する必要があった。本講演では、共焦点スリット型CLMにおいて、共焦点スリットと直交方向に波長/空間変換を導入することにより、スキャンレスで共焦点2次元イメージを取得可能なCLMを報告する。