偏光パターン投影による同軸三次元形状計測-第3報

抄録

第1,2報では空間光変調器を用いて空間的に偏光を制御することで直線偏光パターンを試料に投影させ、投影レンズと結像レンズの特性である光軸方向のコントラスト分布を偏光カメラで検出することで鏡面および粗面の同軸三次元計測の可能性を示した。今回、さらなる高精度化のために高NAの対物レンズを用いて試料を高さ方向に駆動させて最大コントラスト位置からの三次元形状計測を試みたため報告する。