高硬度脆性材料の超音波研磨加工に関する基礎的研究（第1報）

工具摩耗および目詰まりに関する検討

抄録

超硬合金、次世代半導体基板などの高硬度脆性材料に対する加工能率を向上させるための手法として、半径方向に超音波振動する砥石を製作し、同砥石による研磨手法を検討している。本報では、超音波振動電着砥石における工具摩耗状況や目詰り状況などに関して調査した。その結果、超音波振動が、それらに及ぼす影響を明らかにすることができた。