支持機構としてケルビンクランプを用いた金属楕円ミラーの超精密シェーパ加工

細畠 拓也; 山形 豊; 河合 利秀; 森田 晋也; 日野 正裕; 吉永 尚生; 小田 達郎; 山田 悟史; 武田 晋; 古坂 道弘

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_227

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: D19

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_227

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主催: 公益社団法人精密工学会

支持機構としてケルビンクランプを用いた金属楕円ミラーの超精密シェーパ加工

*細畠拓也, 山形豊, 河合利秀, 森田晋也, 日野正裕, 吉永尚生, 小田達郎, 山田悟史, 武田晋, 古坂道弘

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キーワード: 超精密加工, 光学アライメント, 中性子ミラー

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抄録

筆者らの研究グループでは，曲面加工を施した金属ミラーを複数組み合わせた大型の中性子集光ミラーの開発を進めている．分割型のミラーにおいて高い加工精度とアライメント精度を達成するためには，各ミラーセグメントをひずみが少なく再現性の良い支持方法で固定することが極めて重要である．そこで本研究では，ケルビンクランプを支持方法として採用することにした．本稿では，上記の試作結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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