機上計測システムを用いた超精密加工機の多軸同時制御軌跡の精度検証

段 昊; 森田 晋也; 山形 豊; 細畠 拓也; 竹田 真宏

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_229

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: D20

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_229

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主催: 公益社団法人精密工学会

機上計測システムを用いた超精密加工機の多軸同時制御軌跡の精度検証

*段昊, 森田晋也, 山形豊, 細畠拓也, 竹田真宏

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キーワード: 機上計測, 超精密加工機, 非球面光学素子

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抄録

近年の超精密加工機の進歩に伴い，サブミクロン精度の形状加工が可能となった．複雑な曲面形状の加工には超精密加工機を用いた多軸同時制御が行われるが，一般的に多軸同時制御では移動軌跡精度の検証が困難となる．そこで非軸対称非球面光学素子加工における多軸同時制御による移動軌跡を検証するために，機上計測システムを用いた手法を開発し，精度悪化因子である象限突起現象の発生について様々な条件で検証した．

責任著者(Corresponding author)

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