ガラス基板上への反射防止構造の作製

抄録

光学レンズ表面における光の反射によってレンズ性能は妨げられてしまう。そこで、本研究では薄い残膜層を有する反射防止構造をガラス基板上に得るために、ロールプレス方式によるLTIL(Liquid Transfer Imprint Lithography)プロセスを開発し、大気中で約100nmの残膜層を有した反射防止構造を得ることに成功した。反射率は約0.1%を達成し, 入射角度に依存しない反射防止効果が確認された。本研究の成果は光学レンズのような曲面上においても応用可能であると考えられる。