銀インクを用いたフレキシブル基板上へのナノ金属格子パターンの作製

抄録

私達は銀インクを用いて大気中でフレキシブル基板上に金属ナノ格子パターンの作製に成功した。 電子ビームリソグラフィにより、マスターモールドを作製し、UVナノインプリントリソグラフィにより、レプリカモールドを複製した。レプリカモールドにロールプレスで銀インクを押し込み、余分な上面の銀インクを除去するために液体分離操作を行った。その後、UV硬化樹脂を用いて焼結した銀をポリエステルフィルム上へ転写した。