廃シリコン粉末へのレーザ照射によるナノ・サブマイクロ粒子形成

抄録

現在，シリコンウエハ製造過程において発生する廃シリコン粉末が問題になっている．廃シリコン粉末は不純物を含むことから再利用できず，廃棄されている．本研究では，その廃シリコン粉末に対してYAGレーザ照射を行った．その結果，照射条件を選定することによりナノ粒子および球状のサブマイクロ粒子が形成可能であることを確認した．これにより，低コストのシリコン微粒子としての廃シリコン粉末の再利用化が期待できる．