陽極酸化・スパッタリング・焼結又は再陽極酸化によるYSZナノピラー構造の開発

王 磊; 長藤 圭介; 中尾 政之

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_265

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: D62

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_265

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主催: 公益社団法人精密工学会

陽極酸化・スパッタリング・焼結又は再陽極酸化によるYSZナノピラー構造の開発

*王磊, 長藤圭介, 中尾政之

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キーワード: 陽極酸化, スパッタリング, イットリア安定化ジルコニア, 固体酸化物形燃料電池

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抄録

セラミクスナノ構造体は，高効率の固体酸化物形燃料電池，ガスセンサ，熱交換器などに期待されている．本研究では，イットリア安定化ジルコニア（YSZ）ナノピラーを作製する方法として，アルミを陽極酸化でアルミナナノホール構造を生成，スパッタリングによりアルミナナノホールにZr/Y合金を埋め込んでナノピラーを作製，さらに焼結又は再陽極酸化することでYSZナノピラーを得る方法を開発した．

責任著者(Corresponding author)

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