水素添加ECRスパッタカーボン膜形成における基板バイアスの効果

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: D74

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主催: 公益社団法人精密工学会

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キーワード: ECR, AFM, カーボン膜

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抄録

AFMを用いたナノマイクロ加工を行うために，探針に高硬度なECRカーボン薄膜を被膜することで，機械的特性等の向上が期待できる．本研究では，探針のさらなる機能性向上を目的として水素添加ECRカーボン膜形成における基板バイアス効果の検討とその基礎的評価を行う．