AFMを用いたナノグルーブ創成に関する研究

小室 雄輝; 佐藤 隆之介; 上野 秀雄

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_279

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: D73

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_279

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

AFMを用いたナノグルーブ創成に関する研究

*小室雄輝, 佐藤隆之介, 上野秀雄

著者情報

キーワード: ナノグルーブ, ナノマシニング, 原子間力顕微鏡, エッチング

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

本研究では，パターンの変更や修正が容易なナノグルーブ形成手法を提案する．提案する手法は，レジストのコーティング，AFMによるレジストの微細除去加工，ウェットエッチング，レジストの剥離という4つの工程で行われる．本報は，提案するナノグルーブ形成手法を実現するために，レジストの耐エッチング性，AFM加工性，ナノグルーブの形状等について評価した．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）