白金触媒AFMプローブを用いたナノ化学加工技術の開発（第2報） 除去加工メカニズムの電気化学的検討

山本 紘太; 藤井 信吾; 笹野 順司; 永井 萌土; 柴田 隆行

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_285

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: D76

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_285

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主催: 公益社団法人精密工学会

白金触媒AFMプローブを用いたナノ化学加工技術の開発（第2報）

除去加工メカニズムの電気化学的検討

*山本紘太, 藤井信吾, 笹野順司, 永井萌土, 柴田隆行

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キーワード: 原子間力顕微鏡（AFM）, 白金触媒プローブ, 触媒援用ナノ化学加工, ナノファブリケーション, MEMS

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抄録

本研究では，加工対象である固体表面と雰囲気物質（液体）の化学反応を“触媒”によって促進し，かつ当該反応をナノ空間内に制御することで，位置選択的に材料除去（化学エッチング）を行う新規なナノ加工技術の開発を目的としている．本報では，白金（Pt）を被覆した原子間力顕微鏡（AFM）プローブを用いた水中でのSiのナノ化学加工を行い，電気化学的な観点から加工メカニズムを考察した．

責任著者(Corresponding author)

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