石英ガラス板の延性モード切削シミュレーション

抄録

石英ガラスの延性モード切削における工具摩耗を定量的に評価するため有限要素法解析ソフトにより切削のシミュレーションを行った。硬さ試験データより流動応力パラメータを推定し、切り取り厚さ100nm以下の極低速切削における切削過程をシミュレートした。