集束イオンビーム（FIB）を応用したダイヤモンド切削工具の作製とその切削加工特性（第4報） 各種工具材種へのテクスチャ作製

川堰 宣隆; 尾崎 一馬; 森田 昇; 西村 一仁; 山口 誠; 高野 登

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_295

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: D82

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_295

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主催: 公益社団法人精密工学会

集束イオンビーム（FIB）を応用したダイヤモンド切削工具の作製とその切削加工特性（第4報）

各種工具材種へのテクスチャ作製

*川堰宣隆, 尾崎一馬, 森田昇, 西村一仁, 山口誠, 高野登

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キーワード: 超精密加工, 集束イオンビーム, ダイヤモンド切削工具, テクスチャ, cBN

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抄録

本研究では集束イオンビーム加工を応用した，精密切削加工用工具の開発について検討している．これまでの研究では，集束イオンビームと熱処理を併用することにより，ダイヤモンド工具表面に微細なテクスチャを作製した．これを用いて加工したところ，工具・被削材間の摩擦が減少し，加工特性が改善されることを明らかにした．本報ではこの技術を各種工具へ応用するための，テクスチャの作製法について検討した．

責任著者(Corresponding author)

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