集束イオンビーム照射により形成された単結晶ダイヤモンド変質層の深紫外ラマン散乱

近野 佑太; 山口 誠; 川堰 宣隆; 神津 知己; 森田 昇; 西村 一仁

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_297

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: D83

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_297

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主催: 公益社団法人精密工学会

集束イオンビーム照射により形成された単結晶ダイヤモンド変質層の深紫外ラマン散乱

*近野佑太, 山口誠, 川堰宣隆, 神津知己, 森田昇, 西村一仁

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キーワード: 超精密加工, 集束イオンビーム, ダイヤモンド切削工具, ラマン散乱, 加工変質層

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抄録

集束イオンビーム加工を応用した精密切削加工用工具の開発について検討している．これまで，集束イオンビーム加工することにより単結晶ダイヤモンドに変質層の形成，熱処理による変質層の選択的エッチング，さらに偏光顕微ラマン分光法による変質層の微視的構造評価を進めてきた．本発表では，励起光に侵入長の短い深紫外光を用いた深紫外顕微ラマンを行い加工変質層の微視的構造ついて検討する．

責任著者(Corresponding author)

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