光学式ウェハ厚さ計測における測定精度特性に関する研究（第2報）

抄録

光学的手法によるウェハ厚さ計測における、測定条件（分光計測条件、光学系の幾何配置）および表面性状（粗さ、うねり）が測定精度に及ぼす影響について光学設計ソフトウェアを用いたモデルシミュレーションから系統的に調べ、測定実験を合わせて測定値の信頼性と精度限界について議論を行う。