測定領域の影響を考慮した三次元表面粗さ評価手法の研究

ブートストラップ法による信頼区間の算出

抄録

表面粗さパラメータを求めるには表面形状を密に測定することが必要であるが、既存の技術では測定領域の大きさと高分解能を両立させることは困難であり、そのため限られた狭い範囲の情報のみを用いて評価していた。本研究では、狭い範囲のみの情報に対してブートストラップ法を適用することで，三次元表面粗さパラメータを測定する際の測定箇所による影響を考慮した評価手法の開発を試みた。