超音波振動子と対向面を用いたポンプの開発（第2報） 対向面形状の違いによる流れ方向の変化

ながたに 遥子; 品田 裕壮; 石野 裕二; 原 正之; 山口 大介; 高崎 正也; 水野 毅

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_389

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: F04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_389

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主催: 公益社団法人精密工学会

超音波振動子と対向面を用いたポンプの開発（第2報）

対向面形状の違いによる流れ方向の変化

*ながたに遥子, 品田裕壮, 石野裕二, 原正之, 山口大介, 高崎正也, 水野毅

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キーワード: 超音波ポンプ, 対向子, テーパ, スクイーズ膜効果

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抄録

内部配管を備えた超音波振動子及びテーパ加工を施した対向子によってポンプ効果が発現することが確認されている．第一報では，対向子の外周にテーパ加工を施すと管内の流体を吐出し，中央に施すと管内に流体を吸引できることが報告された．本報では，対向子の表面形状を多様化するために超音波振動子を大型化した．さらに対向面の表面形状の違いによっても流れ方向が変化する事を確認した．その詳細を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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