角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第3報） 平面測定のためのゼロ点調整誤差除去法の提案

山下 亮祐; 清水 浩貴; 田丸 雄摩; 橋口 拓也; 石橋 和也

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_41

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: A36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_41

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主催: 公益社団法人精密工学会

角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第3報）

平面測定のためのゼロ点調整誤差除去法の提案

*山下亮祐, 清水浩貴, 田丸雄摩, 橋口拓也, 石橋和也

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キーワード: ゼロ点調整誤差, 平面度, 多点法, 計測

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抄録

正方形の４頂点の位置に４つの変位計を配置して４点法走査平面形状測定を行う．逐次２点法を縦横２方向に適用した逐次４点法は，測定点数に比例してゼロ点誤差が累積し，最終点において大きな誤差が生じる．そこで，対角方向にも逐次２点法を行い，逐次４点法のゼロ点誤差累積式と対角２点法のゼロ点誤差累積式を連立することで基準を用いずにゼロ点誤差を排除する方法を提案し，その効果をシミュレーションで確認した．

責任著者(Corresponding author)

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