精密工学会学術講演会講演論文集
2016年度精密工学会春季大会
セッションID: A37
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逐次三点法による大型曲面の形状測定法
変位計零点補正方法
*玉川 智之ナツ目 雄大宇田 豊島田 尚一井村 諒介
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抄録
運動誤差の影響を分離できる逐次三点法を応用して、1mを超える大型曲面形状を高精度に測定できる測定機の開発を行っている。ただ、この方法には各変位計の零点が同一直線状にない場合、二次成分の誤差が生じる問題がある。そこで本研究では、測定ヘッドの測定開始点と終了点での姿勢変化量を利用した補正方法を用いて実験を行い、その結果から有効性が確認できたので報告する。
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© 2016 公益社団法人 精密工学会
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