中空管マイクロポンプを用いたFEM解析による溝付加型PZTアクチュエータの動的評価

抄録

本研究室では流路部とポンプ部が一体化した中空管マイクロポンプの研究を行っている。しかし流動実験により液体輸送が可能ではあるが、液体輸送量が微量である問題がある。そこでポンプ部であるリング型PZTに60[%]の溝を付加することで性能向上が確認されている。しかし、管状に配置する溝付加型PZTの配置間隔が不明であるため、汎用有限要素法ANSYSによる動的解析を用いた配置間隔の探索を行い実働稼働時における動的評価を行う。