超音波アシスト水熱合成法によるPZT厚膜の繰り返し成膜とその組成ならびに圧電特性評価

抄録

水熱合成法は超音波照射により、チタン基板上にPZT多結晶を従来に比べて厚く成膜できる。本研究では、超音波アシスト水熱合成法で複数回成膜をする場合における、厚膜最適条件を求めた。このとき、EDSによる元素定量分析で、最適な条件で得られたPZT厚膜がモルフォトロピック相境界（MPB）付近の組成になることを明らかにした。また、本手法を用いてPZT厚膜振動子を製作し、圧電特性評価を行った。