光学ガラスレンズのELIDラップ研削による鏡面仕上げ

イオンショットドレッシングが加工能率に及ぼす影響

抄録

本研究では，ELID法を適用可能なメタルレジンボンドペレットを用いて光学ガラスレンズのELIDラップ研削による鏡面仕上げを試みた．その結果，イオンショットドレッシング方式によるELID法を適用することで，ペレットの切れ味の劣化を抑制し，加工レートが向上することがわかった．さらに#8000の微粒ダイヤモンドを含有したペレットを用いることで，算術平均粗さが5 nm以下の高品位な仕上げ面を創製できた．