マルチワイヤソーの鏡面スライシング加工における接着剤が加工面に及ぼす影響

抄録

樹脂コーティングワイヤとダイヤモンドスラリーを用いた加工方式ではシリコンウエハの鏡面加工が可能であることが明らかとなっている．本加工方式では切断時の加工特性が変化すると，ウエハの加工面への影響が大きくなる．そこで，本報告ではシリコンウエハの鏡面スライシング加工において，工作物固定用接着剤の特性がウエハ下部の表面性状やチッピングに及ぼす影響について評価した結果を述べる．